某半导体行业研制的企业因晶圆洁净工步存在含氨生活污水,供水量200吨/天。生活污水底除高锰酸盐指数外还所含氟化物和氢化物发生器血本属,正确处理难度很大大。本地废气规定需求高锰酸盐指数<5mg/L,氟化物<3mg/L。
生产废水基本成分及由来
晶圆除污电镀废水(最主要的来源于):含高锰酸盐指数200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀生产工序生活污水:含轻微铜、镍等血本属,pH值起伏较大大
CMP抛光工业废水:含硅小粒及氧化还原电位
工作工艺具体流程具体流程
分为"生物滤渣+膜剥离 +折点氯化"組合施工工艺:
预加工
:污泥脱水CaCl2除氟,的控制pH在7.5-8.
反渗透膜系統
:清除0.01μm超过颗粒状物
反渗透设备工作会更原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖
:将高锰酸盐指数浓缩液至1000mg/L上述
折点氯化
:高精度把控好氯污泥脱水量,将高锰酸盐指数流量转化为惰性气体
正离子互相交换
:后勤保障高价属合格
决定性视觉效果
氟化物不稳定性<3mg/L,氟化物<1mg/L
高价属含量降到检测工具限
水回收率达75%
污水所产生量提高40%