该厂为8厘米晶圆生产方式线配备的超去离子水体系，每一天造成含硅生活污水150吨。生活污水里面虽无血本属，但硅含磷量高易积灰，且内阻率需达成18MΩ·cm才可中水回用。现有正确处理工学院艺不可够满足新修订的《微电子重工业水感染物污染物标准单位》（GB39731-2020）越来越污染物允许值。 废水处理因素特征 通常感染物 ：胶体溶液硅（200-300mg/L）、颗粒剂硅（颗粒直径0.1-1μm） 层次性必须 ：TOC<10μg/L，硼含铁<5μg/L 水质量特征 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅氧化物体型繁杂 净化处理技艺步骤 的创新采取"梯级膜脱离+电去亚铁离子"组合式新工艺： 微滤预治理 ：1μm陶瓷厂家膜拦阻大颗粒剂硅，通量恢复80LMH 正离子交流树脂材料 ：D201大孔硅橡胶选用性离心分离硅酸团伙 二次RO平台 ：首要段的回收利用率60%，其次段采用了高脱硼膜零件 EDI电去阴阳离子 ：直流电压黏度2A/m²，坚持消除残余物铁离子 紫外线灭菌 ：254nm分光光度计线使用量40mJ/cm² 新技术重点 定制开发多功能阻硅剂（有机会胺类复合型物），减慢膜影响时间3倍 EDI引擎创新性流道设计方案，硅去掉率提高至99.8% 线上硅概述仪（预估范围之内0.1-500μg/L）构建优质操控 程序运行作用 经再者方检查测量： 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼硫含量从8μg/L降到0.3μg/L 软件系统收废率从原40%发展至68% 膜更換周期时间变长至5年，年电脑运行成本费用下降35%