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本项目为于苏北沿海地区的知名度半导体材料研发制造业企业,关键制造8厘米和12厘米晶圆。随产能利用率升降,碾磨道工序所产生的废需水量从早先的200吨/日加入到350吨/日,增加了进行净化处理公共设施已时未符合使用需求,且满水后水的质量不稳定的,亟须开工建设和整修电镀废水进行净化处理体统。
污水因素及由来
该品牌研磨设备废渣主要的发源下列程序:
化学反应机制精磨(CMP)废气:含二防氧化物硅、防氧化物铝等精磨颗料,孔径在0.1-1μm区间
晶圆反面机磨化工废水:具有硅粉、合金阴离子(铜、铝等)及少量出有机酸加入剂
切成片精磨电镀废水:通常基本成分为炭化硅颗粒剂和切割器油面霜
废污水特征参数呈现为:pH值震荡大(2-11)、浮动物溶液浓度高(500-2000mg/L)、具有刺激性微量分析天价属和难吸附有机化学物,COD经常在200-500mg/L区域。
治理 工艺技术程序流程
历经频繁小试和中试,决定确定好进行下列整工院艺:
调结池
:制定pH线上监测方案和自主投加控制系统,将工业废水pH安全稳定在6.5-7.5标准
水泥混凝土沉淀物中
:添加聚合物氯化铝(PAC)和阴正离子型聚丙稀酰胺(PAM),混合型喂养化学反应后进入斜板沉积池
溶气气浮
:应用地方此回流式溶气气浮,进步骤清理狗狗细小颗粒剂和电解质溶液有机化合物
多物料过滤装置
:用到石英晶体砂+活性氧炭二级筛选,为了保证出水出水SS<10mg/L
膜进行处理体系
:是指超滤膜(UF)和反构建(RO)两极,RO浓水简单解决
废水操作
:积淀和气流浮淤泥经板框压滤后土石方工程应对
关键性的工艺运作:水泥混凝土时刻段G值调整在60-80s⁻¹,作用时刻15min;气浮逆流比30%,驻留时刻20min;反固化膜通量60LMH,反固化回报率75%。
最后使用效果
设备电脑运行平衡后,水流环境质量是高达《网上化工业水环境污渍产生口规定要求》(GB39731-2020)特点产生口卫生防护距离规定要求,最主要因素相应:
SS<5mg/L(出掉率>99%)
COD<30mg/L(清理率>93%)
铜铁离子<0.3mg/L
水流中水回用率超过65%上述
污泥处理减药40% compared to原加工
该类目总投资项目约1200多万元,执行价格约8.5元/吨水,去年可减轻污废水 产生量7亿立方米,收旧水影视资源4亿立方米,市场经济经济发展和区域环境经济发展同质性。