半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
内容原型
该光电器件企业的地处长四角中北部,大部分产量方式8屏幕尺寸和12屏幕尺寸晶圆,日排放出口废供水量约2000吨。伴随产量方式工艺技术麻烦,废水底含带多个难化学降解可挥发物和巨资属阴阳离子,传统意义处里手段易于满足需要进一步从严的排放出口的标准。
污废水 的成分及从何而来
生活污水最主要的来出于三个重要环节:晶圆割孔工作生活污水所含很大硅粉和割孔工作液残渣;生物自动化设备增加光泽生活污水包含的橡胶胶体部分硅和机磨颗粒剂;刻蚀家电清洗生活污水所含氟化物、铜铝离子等血本属;光刻施工工艺生活污水则所含光阻剂等有机酸废弃物物。地表水优势特点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物盐浓度高(200-400mg/L)、悬屏物多且所含氢化物发生器血本属。
整理技术流程图
采取"化学预办理+什么是生化办理+进一步办理"的组合式工艺设计:
调节器池稳定水硬度发电量
混疑石雕文化沉淀清掉悬屏物和氢氧化铁产品
有机化学结晶法针对性治疗氟化物,加药系统钙盐确立氟化钙结晶
蛋白质水解硝化作用池增强废渣可血生化性
接触性硫化池溶解有机会环境破坏物
灵活性碳吸附物塔实现纵深治理
膜脱离软件确保安全生产出水量水的硬度可靠
对于含铜电镀废水专门设计阴阳离子互转软件系统,的回收利用有市场价值的塑料铜。
终究特效
内容完成后正常运行稳定性,冒水COD<50mg/L,氟化物质量氨水浓度<5mg/L,铜铝离子质量氨水浓度<0.3mg/L,各个目标均远高于祖国《电子元器件工业品水被有害物质摆放要求》(GB 39731-2020)。次年可提高COD摆放约300吨,氟化物摆放约50吨,收购铜铝合金约2吨,确保了学习环境利润与金钱利润的诚信。